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水环式真空泵真空漏率测量方法

2018-08-02 09:46????点击:
    水环式真空泵真空漏率测量的方法是以示漏物质夜盖被橙容器的整个可疑区或许被检容器内充人示漏物质,水环式真空泵另一侧抽真空或是大气;或是在被检容器的内外两侧构成压差或示漏物质的浓度差。
      1、加压条件下容器漏率的测定:在加压条件下测童容器漏率的办法有:气泡法、超声法、气敏半导体检漏仪法、氨检漏法、卤素检漏仪法、氮质谱检漏仪法等。
      2、真空条件下容器漏率的测定:应用接人真空容器的真空规、离子泵?#23433;?#27668;剖析质谱计来测定容器的漏率,可以选用流盆测量、压力测量、卤素检漏仪以及氮质谱检漏仪等办法来测全漏率,
      3、密封件的无损检漏
      ①尽量应用密封件上可用来指示密封器件外部压力和示漏物质分压力的规管和残气剖析质谱计等停止检漏。
      ②有些原来不是测量压力的安装,如:电子管、显像管等,若改换馈电方式,将其电极接成电离规的方式,测全出管内离子流的变化,便可知管内压力的变化率。大批量消费这类器件时,可以经过校准的办法把离子流的变化率间接换算成漏率。
      ③假如密封件外部具有可作爲示漏的物质时,采用静态法或静态法对漏到里面的示漏物质停止检测,就可测出漏孔来。通常这类密封件外部的示漏气体的分压力要比采用背压法时的压力爲高。因而,检漏灵敏度高,费用低。
     ④背压法检漏适用于成批消费小型密封件时的检漏;可以运用卤素检漏仪,氮质谱检漏仪,放射性同位素等检漏办法和仪器。
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