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水环式真空泵的应用优势

2018-12-14 16:00????点击:
  1、水环式真空泵的工作压力应满足真空设备和工作压力的要求。例如,真空涂层需要110-5mmHg的真空,并且所选真空泵的真空必须至少为510-6mmHg。通常,泵的真空选择为比真空装置的真空高?#35805;?#21040;一个数量级。
  2、正确选择水环式真空泵的工作点。每个泵都有?#27426;?#30340;工作压力范围。例如,分散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的泵送速度随压力变化,稳定的工作压力刻度为510-4 ?510-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,不应?#24066;?#22312;10-8mmHg下长时间运行。另一个例?#37038;窮言?#21387;泵可以在10-2mmHg下工作,但工作压力应小于110-5mmHg。
水环式真空泵
  3、水环式真空泵应能在其工作压力下去除真空设备工?#23637;?#31243;中产生的全部气体。
  4、正确组合了真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能,因此有时不能使用泵来满足泵送要求。有必要组合几个泵并相互补充以满足泵送要求。例如,?#35328;?#21152;了泵对氢气的高抽速,但它不能泵送,而三极溅射离子泵(或双极?#27426;?#31216;阴极溅射离子泵)对氩气具有?#27426;?#30340;抽速。结合使用时,真空设备将具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;某些真空泵出口压力低于大气压力,需要前级泵,因此需要将泵组合在一起。
  5、真空设备要求油污染。如果设备严格要求无油,则应选择各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵。如果要求不严重,可以选择有油泵,加上一些油污方法,如加入冷阱、挡板、油阱等,也可以达到真空要求。
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